Giáo trình kỹ thuật phân tích vật lý được biên soạn trước hết cho sinh viên đại học năm cuối, cán bộ nghiên cứu và làm việc trong các lĩnh vực liên quan đến kim loại học, vật lý chất rắn, khoa học vật liệu, gốm, polyme và y sinh học, nghiên cứu sinh và bạn đọc quan tâm đến kỹ thuật phân tích vật lý.
Nội dung giáo trình có thể được chia thành bốn phần. Phần thứ nhất trình bày những kiến thức cơ bản về vi cấu trúc của vật liệu, đặc biệt là vật liệu tinh thể. Phần hai đề cập đến kỹ thuật nhiễu xạ như nhiễu xạ tia x và nhiễu xạ điện tử. Phần ba là kỹ thuật vi bao gồm hiển vi điện tử truyền qua, hiển vi điện tử quét, hiển vi đầu dò quét. Phần cuối cùng là dành cho kỹ thuật phổ gồm điển tử quang tia x, vi phân tích bằng mũi dò điện tử và phổ điện tử auger.